1.芯片廢氣簡述

芯片作為電子產品（pǐn）核心部件，隨著電子產品的應用越來（lái）越廣泛，芯片的需求量在不斷的增長。但是芯片廠在生產工藝中使用各種酸液、堿液、有機溶劑等產生HF、HCl、硫酸霧、氨（ān）氣、有機廢氣等汙染物。這些廢氣汙染（rǎn）物，若沒有（yǒu）經過淨化處理就直接排（pái）放，將（jiāng）會對（duì）環境造成嚴重大氣汙染，還會危害周（zhōu）圍居民健康（kāng）。因此需要對芯片廢氣進（jìn）行淨（jìng）化處理後達標排放。

2.芯片廢氣處理方法

芯片在（zài）生產（chǎn）過程產生HF、HCl、硫（liú）酸霧（wù）、氨氣、有機廢氣等（děng）廢氣汙染物，對於HF、HCl、硫酸霧等酸性廢氣采用噴（pēn）淋堿洗即可處理，氨氣堿性處理采用噴淋酸性處（chù）理，而對於有機廢氣處理方法有很多種，常見主（zhǔ）要有活性炭吸附法、燃燒（shāo）法、UV光解淨（jìng）化法，下麵国产精品一区二区尿失禁小（xiǎo）編詳細介紹芯片廢氣處理方法。

2.1酸堿性廢氣處（chù）理方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴（pēn）淋（lín）塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用（yòng）“酸液噴淋塔”進行處（chù）理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌（dí）淨化法（fǎ），在電子行業生產中（zhōng）應用相當普遍，具有（yǒu）運行穩定，處理效果好（hǎo），投資少（shǎo），處理費用低等優點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附（fù）劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就（jiù）能夠通過化（huà）學鍵力或者是分子引力充分吸附有害（hài）成分，並且將其（qí）吸（xī）附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應（yīng）用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無（wú）粘性物、常溫的低濃度有機廢氣（qì）淨化處理。

活性（xìng）炭淨化率高（活性炭吸附可達到（dào）90%以上），實用遍（biàn）及，操（cāo）縱簡單，投資低。在吸附飽和以後需要（yào）更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人（rén）員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空（kōng）氣充（chōng）足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和（hé）H2O。燃燒法適用於各類有（yǒu）機廢氣（qì），可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度（dù）廢氣一（yī）般采用直接燃燒法，該方（fāng）法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒（shāo）法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣（qì），采用熱力燃（rán）燒法，廢氣中VOCs濃（nóng）度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低（dī），大約（yuē）為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢（fèi）氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排（pái）會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營（yíng）成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時（shí）連（lián）續不斷（duàn）運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適（shì）合間斷性的（de）生（shēng）產產線工況。催化燃燒的投資和運營（yíng）費用相對熱力燃燒較低，但淨化效（xiào）率也相對較低一（yī）些；但貴金（jīn）屬（shǔ）催化（huà）劑容易因為廢氣中的雜質（如（rú）硫化物）等造成（chéng）中毒失效，而更換催化劑（jì）的費用（yòng）很高；同時對廢氣進（jìn）氣條件的控（kòng）製非常嚴格，否則（zé）會造（zào）成催化燃燒室堵塞而（ér）引起安全事（shì）故（gù）。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法（fǎ）利用高能UV紫（zǐ）外線光束分（fèn）解空氣（qì）中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因（yīn）遊離氧所（suǒ）攜帶正負（fù）電子不平衡所以需與（yǔ）氧分子結合，進而產生（shēng）臭氧，臭氧（yǎng）具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低（dī）分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率（lǜ），可達到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以（yǐ）及惡臭氣體物質的淨（jìng）化處理（lǐ）；產品性能穩定，運行穩定可靠，每天可24小（xiǎo）時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全穩（wěn）定，特別適用於化工、製藥等防（fáng）爆要求高的行業。

以上關於芯片廢氣處理（lǐ）方法介紹，希望可以（yǐ）幫到您，其實對於芯片廢（fèi）氣處理，一般是需（xū）要根（gēn）據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您（nín）有芯片廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢国产精品一区二区尿失禁環保,為您提供芯片廢氣處理方案及設（shè）備。