1.平板顯示器製造（zào）廢（fèi）氣簡述

近年來，智能手機、平板電腦、液晶（jīng）電視、筆記（jì）本電腦等電子（zǐ）產品受益於終端消費市場需求的持續增長，製造這些產（chǎn）品的（de）平板顯（xiǎn）示產業規模（mó）不斷壯大。平（píng）板顯示器是近（jìn）年來發展較快的高新技術行業，平板顯示業（yè）已經逐漸成（chéng）為我國（guó）國民經濟發展進程中一項必不可少的（de）基礎性及戰（zhàn）略性產業。平板顯示行業製程過程中需要使（shǐ）用幾百種化學（xué）品，這就間接導致了平（píng）板製造業生產過程中的廢氣汙染具有種（zhǒng）類繁多、組分複雜特點，以（yǐ）及對工廠車間及周邊環境產生（shēng）嚴重的影響，因此（cǐ），必須對平板顯示器製造產生廢（fèi）氣進行（háng）淨化處理後，達到大氣汙染物排放要求。

1.1 平板顯示器製造廢氣汙染物來源

平板顯示器生產過程按工序劃分（fèn）為陣列生產工序、彩膜（mó）生（shēng）產工（gōng）序、成盒生（shēng）產工序、有機蒸鍍生產工序、模組工序等。

酸性廢氣主要來（lái）自陣列生產工序濕法刻蝕酸性原料揮發產（chǎn）生的廢氣，以及準分子激光退火裝置定期排放的介質氣體，主要汙染物為（wéi）HCl、氟化物等酸霧。

堿性廢氣主要來自陣列、彩膜（mó）生產工序顯影過程產生的（de）堿性揮發性物質，主要汙（wū）染（rǎn）物為（wéi）NH。

幹法刻蝕和化學氣相沉積廢氣主要來自於（yú）一些氣體原料在進行幹法刻蝕過程（chéng）產生一（yī）定量的反應廢氣和（hé）未反應（yīng）的原料氣，主要汙染物為N0、SiH、NH₃、NF₃、PH₃、BF₂、Cl₂、SF6、CF4、C4F8、、BCl₃。和（hé）反應廢氣氟化物和氯化物等。

有機廢氣主要來自於生產過程（chéng）中有機原材料（liào）中有機氣體的揮發，主要（yào）汙染物非甲（jiǎ）烷總烴。

2.平板顯示器（qì）製造廢（fèi）氣處理方法

平板（bǎn）顯示器（qì）製造（zào）生產過程產生廢氣主要為酸性廢氣（qì）、堿性廢氣、幹法刻蝕和化學氣相沉積廢氣（qì）、有機廢氣，對（duì）於這些廢氣處理方法有（yǒu）哪些呢？接下來，国产精品一区二区尿失禁環保小（xiǎo）編詳細介紹平板顯（xiǎn）示器製造廢氣（qì）處理方法。

2.1 酸性廢（fèi）氣處理方法

酸性廢氣主（zhǔ）要汙染物為HCl、HF、氮氧化物等。該類廢氣主要（yào）使（shǐ）用氫氧化鈉濕式（shì）填料洗滌塔進行酸堿中和（hé）淨（jìng）化處理，洗滌液選擇濃度為4%的氫氧化鈉溶（róng）液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理後，達到國家排（pái）放標準後排放。

2.2 堿性廢氣處理方（fāng）法

堿性廢氣主要廢氣汙染物為NH₃。該類廢氣主要是用硫酸濕式填料洗滌塔進（jìn）行酸堿中和淨化處理，洗滌液選擇（zé）濃度（dù）4%的硫酸溶（róng）液，廢氣經洗滌塔酸堿中和處理後，達到國家排放標準後排放。

2.3 幹法刻蝕和化學氣（qì）相沉積廢（fèi）氣處理方法

幹法刻蝕和化學氣相沉（chén）積廢（fèi）氣汙染物主要為SO₂、HCl、氟化物、NOx、NH₃、Cl₂等，該類廢氣經過堿性濕式填料（liào）洗滌塔酸堿中和淨化處理，洗（xǐ）滌液選擇濃度為4%的NaOH和NaHSO₃溶液，淨化後廢（fèi）氣通（tōng）過排氣筒高（gāo）空排放。

2.4 有機廢氣處理方法

有機廢氣主要汙（wū）染物非甲烷總烴。該類廢氣主要處理方法有（yǒu）活性（xìng）炭吸附（fù）法、燃燒法、UV光（guāng）解淨化法，下麵詳細介紹非甲烷總烴廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸（xī）附法主要原理就是利用多（duō）孔固體吸附劑（活（huó）性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就（jiù）能夠通（tōng）過化學鍵力或者是分子引力充分（fèn）吸附（fù）有害（hài）成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法（fǎ）目前（qián）主要應用於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭（tàn）吸附可達到90%以上），實用（yòng）遍及，操縱簡單（dān），投（tóu）資低。在吸附飽和以後（hòu）需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費（fèi）用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找專業人員進行危（wēi）廢（fèi）處（chù）理，運（yùn）行費用高。

（2）燃燒法

燃燒（shāo）法隻在揮發（fā）性有機物在高溫及空氣充足的條件下（xià）進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒（shāo）法適（shì）用於（yú）各類有機廢氣，可以分（fèn）為（wéi）直接燃（rán）燒、熱力燃燒（shāo）和催化（huà）燃燒（shāo）。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒（shāo）法，該方（fāng）法（fǎ）將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒（shāo）溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒（shāo）法適合（hé）於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法（fǎ）處（chù）理VOCs廢（fèi）氣處理效率高（gāo），但VOCs廢氣若含有S、N等元素（sù），燃燒後產（chǎn）生的廢（fèi）氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱（rè）力燃燒（shāo）或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本（běn）極高。因廢氣排放的點（diǎn）多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要（yào）很大的占地麵積。熱力（lì）燃燒比較適合24小時連續不斷運行且濃度較高而（ér）穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產（chǎn）產線（xiàn）工況（kuàng）。催化燃燒的（de）投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨（jìng）化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物）等造成（chéng）中毒（dú）失效（xiào），而更換（huàn）催（cuī）化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催（cuī）化燃（rán）燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法（fǎ）利用高能UV紫外線光束分（fèn）解空氣（qì）中的氧分（fèn）子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過（guò）臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化（huà）作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可（kě）達（dá）到95%以上；適應性強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定，運行穩（wěn）定（dìng）可靠，每天（tiān）可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊（kuài）采取隔爆處理，消除（chú）了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能（néng）安全穩定，特別（bié）適用於化工、製藥等防爆要求高的（de）行業。

以上關於（yú）平板顯示器製造廢氣（qì）處理方法（fǎ）介紹，希望可以幫到您，其實對於平板顯示器製造廢氣處理，一般是需要根據廢氣的（de）濃度、產生量、廢氣成分（fèn）、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有平板顯示器製造廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢国产精品一区二区尿失禁環保（bǎo）,為您提（tí）供平板顯示器製造廢氣處理方（fāng）案及設備。