1.電子敏感元件廢氣（qì）簡（jiǎn）述

電（diàn）子敏感元件是一種能敏銳地感（gǎn）受某種物理（lǐ）、化學、生物（wù）的（de）信息（xī）並將其轉變為電信息的特種電子元件。電子敏感（gǎn）元件是傳感器的核心元件。隨著電子計算機和信息技術的（de）迅速發展，電子敏感元件的重要性日益增大，帶動了電子敏（mǐn）感（gǎn）元件製造行業快速發展，行業（yè）規模迅速擴大，技術水平（píng）提升，有力推動了我國信息化建設（shè）和經濟社會（huì）發展。但是電子敏感元件在製造生產過程會產（chǎn）生廢氣汙染物，其汙染物主（zhǔ）要為氫（qīng）氟酸、氨氣、非甲烷總烴等廢氣汙染物。這些汙染物如果未經過淨化（huà）處理，直接（jiē）排放進入大氣，不但對（duì）環境造成了嚴重汙染，還嚴重危及周邊居民的身體健康。因此，必須對電子敏感元件廢氣進行淨化處理後達標排放。

1.1電子敏感元件廢氣來源及成分（fèn）

氫氟酸酸霧：清洗工序（xù）使用氫氟酸溶液，產生（shēng）酸霧，主要汙染因子為氟化氫。

氨氣：PECVD（等離（lí）子化學氣相沉積）工序原理是采用進氣管計量將矽（guī）烷和氨（ān）氣通入 PECVD 管內，通過化學反應產生氮（dàn）化矽。該工序產生含氨氣（qì）的廢氣，主要（yào）汙染因子為氨氣。

有機廢氣：絲印燒結工序產生少量有機廢氣，主要汙染因子為非甲烷總烴（tīng）。

2.電子敏感元件廢氣處理方法

電子敏感元件製造生產過（guò）程產生廢氣為氟化（huà）氫、氨氣、有機廢氣等廢氣汙染（rǎn）物，對於氟化（huà）氫、氨氣（qì）等酸堿性廢氣處理（lǐ）采（cǎi）用酸（suān）堿中和法即可處理，而對（duì）於有機廢氣處理方（fāng）法有很多種，常見主要有（yǒu）活（huó）性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法，下麵国产精品一区二区尿失禁小編詳細介紹電子（zǐ）敏感元件（jiàn）廢氣處理方（fāng）法。

2.1 酸堿性廢（fèi）氣處（chù）理方法

酸性廢氣處理方法是（shì）采用“堿液噴淋塔（tǎ）”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶（róng）液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處（chù）理，以10%的硫酸溶液為吸收（shōu）液。酸（suān）性、堿性廢氣洗滌淨化法，在電子行業生產中應用相（xiàng）當（dāng）普遍（biàn），具有運行穩定，處理效果好，投資少，處理費（fèi）用（yòng）低等優（yōu）點。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性炭吸附（fù）法

活性炭吸（xī）附法主要原理就是利用多（duō）孔固體吸附劑（活性碳、矽（guī）膠、分子篩等）來處理（lǐ）有機廢氣，這樣就（jiù）能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成（chéng）分，並且（qiě）將其吸附在吸附劑的表麵，從而（ér）達到淨化有機廢氣（qì）的目（mù）的。吸附法目前主要應用（yòng）於大風量、低濃度（≤800mg/m3）、無（wú）顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度（dù）有機廢氣淨化處（chù）理。

活性炭淨化率高（活性（xìng）炭吸附可（kě）達到90%以上），實用遍及，操縱簡（jiǎn）單，投（tóu）資低。在吸附飽和以後需要更換（huàn）新的活性炭，更換活（huó）性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭也是需要找（zhǎo）專業人員進（jìn）行危廢處理，運行（háng）費用高。

（2）燃（rán）燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高溫及空氣（qì）充足的條件下（xià）進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機廢氣，可以分為直接（jiē）燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度（dù）大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃（rán）燒（shāo）法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒（shāo）法適合於（yú）處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的（de）廢（fèi）氣，采用熱力燃（rán）燒法（fǎ），廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所（suǒ）需的溫度較直接燃燒低，大約（yuē）為540—820℃。燃燒（shāo）法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有（yǒu）S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或（huò）者催化燃燒法（fǎ）處理有機廢氣，其淨化率是比較高的，但是其投（tóu）資運營成本（běn）極高（gāo）。因廢氣排放的（de）點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多（duō）套且需要很大的占地（dì）麵積。熱力（lì）燃燒比較適合24小時連續不（bú）斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但淨（jìng）化效率（lǜ）也相對（duì）較低一些；但貴金屬（shǔ）催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物（wù））等造成中毒失效，而更換催化劑的費用（yòng）很高；同時對（duì）廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造（zào）成催化燃（rán）燒室堵塞而引起（qǐ）安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線（xiàn）光束分解空氣中（zhōng）的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊離氧所攜帶正負電子不平衡（héng）所以需與氧分子結合，進而產生臭氧（yǎng），臭氧具有很強（qiáng）的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作（zuò）用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處（chù）理效率，可達到（dào）95%以上；適（shì）應性強，可適（shì）應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能穩定（dìng），運（yùn）行穩定可靠，每天（tiān）可24小（xiǎo）時連續工作；運行成本低，設備耗（hào）能低，無需專人管理與（yǔ）維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防（fáng）火、防爆、防腐蝕性能高，設（shè）備性能安全穩定，特別適（shì）用於化工、製藥等防爆要求（qiú）高的行業。

以上關於電子敏感（gǎn）元件廢氣處理方法介紹（shào），希望可以（yǐ）幫到您（nín），其實對於電子（zǐ）敏（mǐn）感元（yuán）件（jiàn）廢氣處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢（fèi）氣成（chéng）分、如何（hé）收集等方麵進行（háng）設計收集處理（lǐ）。如果您有電子敏感（gǎn）元件廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢国产精品一区二区尿失禁環保,為您提供電子敏感元件廢氣處理方案及設備。