半導體有機廢氣處（chù）理方法

1.半導體有（yǒu）機廢氣簡述

隨著半導體產業的快速發展，然而在其生產過程中產生有（yǒu）機廢氣汙染物。這些廢氣汙染物，未經過（guò）淨化處理（lǐ），直接排放進入空氣中，不（bú）僅造（zào）成周邊大氣環境（jìng）汙染，還會對周圍居住居民身體健康產生傷害，因此，需要對半導體有（yǒu）機廢氣進行收集淨化（huà）處理後達標排放。

2.半導體有機廢氣處理方法

半導體在生產過程中產生有（yǒu）機廢氣（qì）等汙染物。而目前（qián）對於有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法等，下麵国产精品一区二区尿失禁環保小編（biān）詳細介紹半導（dǎo）體有機（jī）廢（fèi）氣處理方法。

（1）活性（xìng）炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就（jiù）是利用多（duō）孔固體吸附劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢（fèi）氣，這樣（yàng）就能（néng）夠通過化學鍵力或者是分（fèn）子引力充分（fèn）吸附有害（hài）成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於大風量（liàng）、低濃度（dù）（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣淨化處（chù）理。

活性炭淨化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操（cāo）縱簡單，投資低。在吸附飽和（hé）以後需（xū）要更換新的活性炭（tàn），更換活（huó）性炭需要費用，替換下來的飽（bǎo）和以後的活性炭也是需要找專業人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有機物在高（gāo）溫及空氣充足的條件（jiàn）下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於（yú）各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃（nóng）度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料（liào）進行燃燒，燃燒溫（wēn）度一（yī）般控製在1100℃，處理效率（lǜ）高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處（chù）理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借（jiè）助其他燃料或助燃氣體，熱（rè）力燃燒所需的（de）溫度較直接燃燒低，大（dà）約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效（xiào）率高，但VOCs廢氣若含（hán）有S、N等（děng）元素，燃燒後（hòu）產生（shēng）的廢氣（qì）直接（jiē）外（wài）排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其淨化率是（shì）比較高的，但是其投資運營成本極高（gāo）。因廢（fèi）氣排（pái）放（fàng）的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地麵積。熱力燃燒比較適合24小時連續不（bú）斷運行且濃度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產（chǎn）產線工況（kuàng）。催（cuī）化燃燒的投資和運（yùn）營（yíng）費用相對熱（rè）力（lì）燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬（shǔ）催化劑容易因（yīn）為廢氣中的雜質（如（rú）硫化物）等造成中毒失（shī）效，而更換催化劑（jì）的費用（yòng）很高；同時對廢氣進氣條件的控製（zhì）非常嚴格，否則會造成催化燃燒室（shì）堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解（jiě）淨化法利用高能UV紫外線光束（shù）分解空氣中的氧分子產生遊（yóu）離氧（即活性氧），因遊（yóu）離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分（fèn）子結（jié）合，進而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協（xié）同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物（wù）、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可（kě）達到95%以上；適（shì）應性強，可適應中低濃度，大（dà）氣量，不同有機廢氣（qì）以及惡臭（chòu）氣體物質的淨化處理；產品性（xìng）能穩定（dìng），運行穩定可靠，每天可（kě）24小時連（lián）續（xù）工作；運行成本（běn）低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢查。UV光解法因采用光（guāng）解原理，模塊（kuài）采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆（bào）、防腐（fǔ）蝕性能高（gāo），設備性能安（ān）全（quán）穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要（yào）求高（gāo）的行業。

以上關於半（bàn）導體有機廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對於半導體（tǐ）有機廢氣處理，一般是需要（yào）根據廢（fèi）氣的濃度、產生量（liàng）、廢氣成分、如何（hé）收集等方麵進行設計收集處理（lǐ）。如果您有半導體有機廢氣需要淨化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，谘詢天（tiān）浩洋環保,為您提供半導體有機廢氣處理方案及設（shè）備。