半導體材料廢氣處理方法

1.半導體（tǐ）材（cái）料（liào）廢氣簡述

隨著科技的不斷發展，半導體（tǐ）產業在全球範圍內呈現（xiàn）出蓬勃發展（zhǎn）的態勢。然（rán）而，這一產業（yè）的發（fā）展也帶來了（le）一定程度的環境汙（wū）染問題。半導體材料在生產過程產生有機廢氣（qì）汙染物，對環境造成了嚴重汙染。因此，必（bì）須（xū）對半導體材料廢氣進行淨（jìng）化處理後（hòu）達標排放。

2.半導體材料（liào）廢（fèi）氣處理方法（fǎ）

半導體材料生產過程中產生有機（jī）廢氣等汙染物。而目（mù）前對（duì）於有機廢氣處理方法有很（hěn）多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解淨化法等，接下來天（tiān）浩洋（yáng）環（huán）保小編詳細介紹半導體材料廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附（fù）法主要（yào）原理就是利用多（duō）孔固體吸附（fù）劑（活性碳、矽膠、分子篩等）來處理有機廢（fèi）氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引（yǐn）力充分吸附有害（hài）成分，並且將其吸附在吸附劑（jì）的（de）表（biǎo）麵，從而達到淨（jìng）化有（yǒu）機廢（fèi）氣的目的。吸附法目前主要（yào）應用（yòng）於（yú）大風量（liàng）、低濃（nóng）度（dù）（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常（cháng）溫的低濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活（huó）性炭吸附可達到90%以上），實（shí）用遍及（jí），操縱簡單，投資（zī）低（dī）。在吸附飽和以後需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和（hé）以（yǐ）後的活性炭也是需要（yào）找專業（yè）人員進行危（wēi）廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃（rán）燒法（fǎ）隻在揮發（fā）性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用於各類有機（jī）廢氣，可以分為直接燃燒（shāo）、熱力燃燒和（hé）催（cuī）化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控製（zhì）在1100℃，處理效率（lǜ）高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理（lǐ）濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其（qí）他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所（suǒ）需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法（fǎ）處理VOCs廢氣處理效率（lǜ）高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排會導致二次汙染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒（shāo）法處理有機廢（fèi）氣，其淨化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放（fàng）的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地麵（miàn）積。熱力燃燒（shāo）比較適合24小時連續（xù）不斷運行且濃度（dù）較高而穩定的廢氣工況（kuàng），不（bú）適合間斷性的生產（chǎn）產線工況。催化燃燒的投資和運（yùn）營費用相對熱力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但（dàn）貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫化物（wù））等造成中毒失效（xiào），而更換催化劑的費用很高；同時（shí）對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安（ān）全事故。

（3）UV光解（jiě）淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫外線光束分解（jiě）空氣中的氧分子產生遊離氧（即活（huó）性氧），因遊離氧所攜帶正負電（diàn）子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭（chòu）氧，臭氧具（jù）有很強的氧（yǎng）化性，通過臭氧對有機（jī）廢氣、惡（è）臭氣（qì）體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質降（jiàng）解轉化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效處理效率，可達到95%以（yǐ）上；適應性（xìng）強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機（jī）廢氣以及惡（è）臭（chòu）氣體物質的淨化處理；產品性（xìng）能穩定，運行穩定可靠，每天可24小時連續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定期檢（jiǎn）查。UV光解法因（yīn）采（cǎi）用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設備性能安全（quán）穩定，特別適（shì）用於化工、製藥等防爆要求高的行（háng）業。

以上關於半導體材（cái）料廢氣處理方法介紹，希望可（kě）以幫到您，其實對於半導體材料廢氣（qì）處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生（shēng）量、廢氣成分、如何收集等方麵進行設計收集處理。如果您有半導體材料廢（fèi）氣需要淨化處理，可以隨（suí）時撥打400 808 2272電話，谘（zī）詢（xún）国产精品一区二区尿失禁環（huán）保,為您提供半導體材料廢氣處理方案及設備。