首先廢氣（qì）經均流板過濾棉進入設（shè）備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏（fú）特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈（liàn）、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力（lì）較小。很容易被擊穿（chuān）化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一（yī）階段淨化（huà）。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷（duàn）裂，生成強氧化（huà）基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分（fèn）子充分接觸氧化，加快反應進（jìn）程。整個（gè）反應（yīng）幹淨（jìng），能量利用率高，淨化（huà）效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的汙（wū）染（rǎn）物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子（zǐ）先從電（diàn）場獲得能量，通過激發或（huò）電離將（jiāng）能量轉移到汙（wū）染物分子中（zhōng）去，那（nà）些獲（huò）得能量的汙染物分子被激發，同時有部（bù）分分子被電離，從而成為活性（xìng）基團。然後這些（xiē）活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之（zhī）間相互碰撞後生成穩定產物和熱。

另（lìng）外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有（yǒu）很（hěn）好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。