首先廢氣經均流板（bǎn）過濾棉（mián）進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階（jiē）段中，長鏈、多（duō）鏈廢氣分子由於鍵（jiàn）能（néng）較弱，約束力較小。很容易被擊穿化（huà）學鍵破裂，從而變成（chéng）小分子化合物，此為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分（fèn）子、氧分子被高壓擊（jī）穿斷裂，生成強氧化基團（tuán）羥基、臭氧分子等。這（zhè）些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整（zhěng）個反應幹淨，能（néng）量利用率高，淨化效（xiào）率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈汙染物分子的分（fèn）子鍵斷（duàn）裂重組，使難處理的汙染物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子先（xiān）從電場獲得（dé）能量，通過激發或電（diàn）離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得能量的汙染（rǎn）物分（fèn）子被激發，同（tóng）時（shí）有部分分子被電離（lí），從而成為活性（xìng）基團。然後這些活性基（jī）團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩（wěn）定產物和熱。

另外，高能電子也能（néng）被鹵（lǔ）素和氧氣等電子（zǐ）親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活（huó）性，在（zài）化學反應中起著（zhe）重要的作用（yòng）。