首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓（yā）穩（wěn）定高頻放（fàng）電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬（wàn）伏特高壓（yā），擊穿廢氣。此階段中，長（zhǎng）鏈、多鏈廢氣分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵（jiàn）破裂，從而變成小分子化（huà）合物，此為第一階（jiē）段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等（děng）。這些強氧化基團與廢氣分子充（chōng）分接觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效（xiào）率非（fēi）常高（gāo）。

等離子（zǐ）功能段（duàn）可以激（jī）發汙（wū）染物能量，促使（shǐ）長鏈、多（duō）鏈汙染（rǎn）物分子的（de）分子鍵斷裂（liè）重組（zǔ），使難（nán）處理的（de）汙染物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反應過程可以看出，電子先從電（diàn）場獲得能量，通過（guò）激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得（dé）能量的汙染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而（ér）成為活性基團。然（rán）後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間（jiān）相互（hù）碰撞後生成（chéng）穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被（bèi）鹵（lǔ）素（sù）和氧（yǎng）氣等電子親和力較強的物（wù）質俘獲，成為負離子。這（zhè）類負離子（zǐ）具有很好的化學活性，在化學反（fǎn）應中起著重要的作用。