首先廢（fèi）氣經均（jun1）流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放（fàng）電，瞬間產生1.5萬伏特至（zhì）2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中（zhōng），長鏈、多鏈廢（fèi）氣分子（zǐ）由於鍵能較弱，約束力（lì）較小。很容易被（bèi）擊穿化學鍵破裂，從而變成小（xiǎo）分子化合（hé）物，此為第一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備（bèi）的（de）水分子、氧分子（zǐ）被高壓擊穿斷裂，生成強氧化（huà）基團（tuán）羥基、臭氧分子等。這些強氧化（huà）基（jī）團與廢氣分子充（chōng）分接觸氧化，加快反應（yīng）進程。整個（gè）反應（yīng）幹淨，能量利用率高，淨化效率非常（cháng）高（gāo）。

等離子功能段可以（yǐ）激發汙染物能量，促使（shǐ）長鏈、多鏈汙染物分子的分子鍵斷裂（liè）重（chóng）組，使難處（chù）理的汙染物降（jiàng）解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子（zǐ）體反應過程可以看出，電子先從（cóng）電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些獲得能（néng）量的汙染（rǎn）物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而（ér）成為（wéi）活性基（jī）團（tuán）。然後這些活性（xìng）基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰（pèng）撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的（de）物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中（zhōng）起著重（chóng）要的作用。