首先廢氣經均流板過濾棉進入設（shè）備時，由（yóu）設備（bèi）高壓穩定高頻放電，瞬（shùn）間產生（shēng）1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段（duàn）中（zhōng），長鏈、多鏈廢氣（qì）分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化（huà）學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階段淨（jìng）化。

其次，隨廢（fèi）氣進入設備的水分子、氧（yǎng）分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧（yǎng）化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸（chù）氧（yǎng）化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量（liàng）利用率高，淨化效率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使長鏈、多鏈（liàn）汙染物分子的分子（zǐ）鍵斷裂（liè）重組，使難處理的汙染物降解為較易處理的低碳汙染物。

從等離子體反（fǎn）應過程（chéng）可以（yǐ）看出，電子先（xiān）從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到（dào）汙染物分子中去，那（nà）些獲得能量（liàng）的汙染物分子被激發，同時有部分分子（zǐ）被電離，從而成（chéng）為活性基團。然後這些（xiē）活（huó）性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物（wù）和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親（qīn）和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著（zhe）重要的作用。